질화로에 가공물을 넣고 미리 {{0}}~10-3Torr(mmHg)까지 비우고 나서 N2가스나 N2 +H2를 투입하는 방식이다. 혼합 가스를 사용하여 로를 1~10 Torr로 조정하고 로 본체를 양극에 연결하고 공작물을 음극에 연결한 후 두 전극 사이에 수백 볼트의 DC 전압을 통과시킵니다. 이때, 용광로 내의 N2 가스는 빛나는 방전을 생성하여 양이온을 형성하고 작업 표면으로 이동합니다. 순간적으로 음극 전압이 급격히 떨어지며 양이온이 고속으로 음극 표면으로 돌진하여 운동 에너지를 가스 에너지로 변환하여 공작물의 표면 온도를 높일 수 있습니다. 질소 이온의 영향으로 공작물 표면의 Fe.CO 및 기타 원소가 튀어 나와 질소 이온과 결합하여 FeN을 형성하여 질화철이 점차 공작물에 흡착되어 질화를 생성합니다. 이온질화는 기본적으로 질소를 사용하는데, 탄화수소가스를 첨가하면 이온연질화도 가능하지만 일반적으로 이온질화라고 부른다. 공작물 표면의 질소 농도에 따라 혼합 가스(N2 +H2) 부분 압력 비율이 조정될 수 있습니다. 순수이온 질화시 작업표면의 단상 r′(Fe4N) 구조에는 5.7-6.1%wt의 N이 포함되어 있으며 두께는 10μm 이내입니다. 이 복합층은 강하고 단단하지만 다공성이 아니며 쉽게 떨어지지 않습니다. 질화철은 공작물에 지속적으로 흡착되어 내부로 확산되기 때문에 표면에서 내부까지 FeN → Fe2N → Fe3N → Fe4N의 순서로 구조가 변화됩니다. 단상 ε(Fe3N)에는 5.7-11.0%wt의 N이 포함되어 있고, 단상 ξ(Fe2N)에는 11.0-11.35%wt의 N이 포함되어 있습니다. 먼저 이온 질화 r-상을 생성한 후 탄화수소 가스 시스템을 추가하여 ε상의 화합물층과 확산층으로 만듭니다. 확산층의 증가는 피로강도 증가에 매우 도움이 됩니다. 내식성은 ε상에서 가장 좋습니다.
